品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
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應用領域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
美國mks GM50A和GM51A數控質量流量控制器
GM50A 和 GM51A 數控質量流量控制器提供模擬或 RS485、Profibus™、EtherCAT、PROFINET® 或 DeviceNet™ I/O。數字控制電子設備利用最新的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內對設定點做出快速且可重復的響應。典型的響應時間約為 500 毫秒。數字校準在校準氣體上產生1%的設定點精度。
流速從 5 到 50,000 sccm
金屬密封,帶特氟龍閥塞
多種數字(以太網、設備網™、Profibus®、PROFINET 和 RS485)或模擬(0-5 VDC 或 4-20 mA)I/O
標準閉合電導泄漏率小于滿量程的1.0%
小于 750 毫秒的建立時間
美國mks GM50A和GM51A數控質量流量控制器
規格
類型 質量流量控制器
滿量程流量范圍 5 - 50000 sccm(相當于N2)
控制范圍 滿量程的2-100%
最大入口壓力 150 磅/平方英寸
正常工作壓差 10 至 5000 sccm;10 至 40 個 PSID,10000 至 20000 個 SCCM;15 至 40 個 PSID,30000 至 50000 SCCM;25 至 40 psid
耐壓 1000 磅/平方英寸
爆破壓力 1500 磅/平方英寸
典型精度 20% 至 100% 滿量程時為設定點的 ±1%,±2% 至 20% 滿量程時為滿量程的 0.2%
重復性 ± 0.3% 讀數
分辨率 滿量程的 0.1%
零溫度系數 <滿量程的0.05%/°C
量程溫度系數 讀數的<0.08%/°C
入口壓力系數 <讀數/平方英寸的 0.02%
典型建立時間<750 毫秒,典型值高于 5% 滿量程
預熱時間 30 分鐘
工作溫度 10°C 至 50°C
儲存濕度 0 至 95% 相對濕度,無冷凝
儲存溫度 -20° 至 80°C
外部泄漏完整性<1 x 10-10(SCC/秒 He)
通過關閉閥門實現泄漏完整性<1.0% 滿量程,40 psig 入口大氣
接液材料 316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy®, 鎳, KM45
重量 3 磅(1.4 千克)
合規 行政長官
GM50A和GM51A數控質量流量控制器型號:
GM50A013101RMM020 GM50A013101SMM020 GM50A013102RMM020 GM50A013103RMM020
GM50A013103SMM020 GM50A013201RMM020 GM50A013202RMM020 GM50A013203RMM020
GM50A013204RMM020 GM50A013204SMM020 GM50A013501RMM020 GM50A013502RMM020
GM50A013503RMM020
多種數字和模擬接口選擇
GM50A 數控 MFC 提供模擬或數字 I/O。數字控制電子設備采用最新的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內對設定點提供快速且可重復的響應。典型的響應時間約為 500 毫秒。GM50A 的模擬和數字 I/O 可輕松用于替換 1179A MFC 的相同 I/O 類型。所有GM50A都包括Modbus作為可用的輔助I / O(不包括PROFINET®和EtherCAT®)。
標準 3 英寸基底面
GM50A 利用 5 sccm 至 50 slm 流速范圍內 MFC 常用的標準 3 英寸占地面積,無需修改現有的氣體管路配置即可使用。
金屬密封
GM50A 金屬密封 MFC 具有 10 μ 英寸的電解拋光 316L 表面光潔度,使該質量流量控制器可用于高純度應用。
設定值精度百分比
隨附的數字校準可在滿量程流量范圍的 20% 至 100% 的 N2 校準氣體下產生 1% 的設定點精度。設定點精度可實現精確的過程控制,而不是相對于滿量程規定的精度。對于 2% 至 20% 滿量程的質量流量,精度為滿量程的 ±0.2%。
嵌入式用戶界面
嵌入式用戶界面提供了輕松更改設備范圍和用戶氣體的能力,從而降低了庫存要求。您還可以監視 MFC 功能并原位收集性能數據。