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品牌 | MKS/美國 | 應用領域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
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一、美國mks高性能壓力傳感器介紹:
(1)MKSBaratron®DA01BDeviceNet絕對電容壓力計是一款雙輸出絕對真空傳感器,具有DeviceNet™™數字通信和傳統的0-10VDC模擬輸出信號。提供加熱和非加熱版本。
(2)未加熱或控制至45°C、80°C或100°C
(3)設備網絡™通信和與壓力成比例的0-10VDC輸出
(4)滿量程范圍為1000至1托(未加熱),1000至0.1托/毫巴
(5)全焊接鉻鎳鐵合金和鉻鎳鐵合金®傳感器,具有耐腐蝕性
二、美國mks高性能壓力傳感器原理應用:
(1)DA02BEtherCAT®Baratron®電容壓力計繼續將高性能發展到網絡系統中,使用行業標準的EtherCAT數字通信連接到復雜的過程工具?;诮涍^驗證的627C和628C以太網配備Baratron產品,EtherCATBaratron壓力計符合當前的SEMI®EtherCAT通用設備配置文件,設計用于高級處理系統;
(2)未加熱或控制至45°C、80°C或100°C,以太網CAT®通信和0-10VDC輸出與壓力成比例,滿量程測量范圍為0.1至1000Torr(13.3Pa至133.3kPa);
(3)全焊接鉻鎳鐵合金和鉻鎳鐵合金®傳感器,具有耐腐蝕性;
(4)Baratron®622D非加熱絕對電容壓力計是MKS最新的模擬電容式高性能真空和壓力傳感器。它需要±15VDC輸入電壓,并提供與壓力成線性的高電平0-10VDC模擬輸出信號;
(5)0至10VDC比例模擬輸出,帶接線端子,直接測量腔室總壓力,與氣體類型無關,長期輸出穩定性,實現工藝可重復性,鉻鎳鐵合金和鉻鎳®合金®基本傳感器結構,高過壓限制確保系統事故期間的可靠性,以讀數百分比,以獲得最佳準確性并提高工藝產量;
(6)DA01B0.1-1000托加熱和未加熱Baratron®裝置凈電容壓力計,未加熱或控制至45°C、80°C或100°C,設備網絡™通信和與壓力成比例的0-10VDC輸出,滿量程范圍為1000至1托(未加熱),1000至0.1托/毫巴;
(7)DA02A巴拉特龍醚類0.1至1000托加熱電容壓力計,DA02B0.1-1000Torr加熱和未加熱Baratron®EtherCAT®電容壓力計,未加熱或控制至45°C、80°C或100°C;
(8)以太網CAT®通信和0-10VDC輸出與壓力成比例,滿量程測量范圍為0.1至1000Torr(13.3Pa至133.3kPa)
DA06A帶EtherCAT®的3倍頻程溫控壓子®電容壓力計,3倍頻程測量減少了對多個壓力計的需求;
(9)符合真空計的最新SEMI®EtherCAT®設備配置文件,溫度控制在45°C、80°C或100°C,600系列加熱絕對壓壓子電容壓力計,624H1-1,000托,加熱(45°C)帶跳變點的絕對壓子®電容壓力計;
(10)溫度控制在45°C,讀數精度為0.12%,0至10VDC模擬輸出與絕對壓力成比例,兩個可調過程跳變點繼電器
600系列加熱絕對壓壓子電容壓力計,625H1-1000Torr,加熱(100°C)帶跳變點的絕對壓子®電容壓力計,溫度控制在100°C,讀數精度為0.25%,0至10VDC模擬輸出與絕對壓力成比例。
三、兩個可調過程跳變點繼電器,627F/628F加熱絕對壓壓子電容壓力計,627H0.02-25,000托,加熱(45°C)絕對壓子®電容壓力計,溫度控制在45°C,讀數精度為0.12%,0至10VDC模擬輸出與絕對壓力成比,滿量程范圍低至20mTorr,可實現精確的低壓測量,627F/628F加熱絕對壓壓子電容壓力計,628H0.05-25,000托,加熱(100°C)絕對壓子®電容壓力計,溫度控制在100°C,讀數精度高達0.25%,0至10VDC模擬輸出與絕對壓力成比例,滿量程范圍低至50mTorr,用于精確的低壓測量,600系列加熱絕對壓壓子電容壓力計,629H0.02-25,000托,加熱(45或100°C)絕對壓子®電容壓力計,溫度控制在45°C或100°C,讀數精度高達0.12%,0至10VDC模擬輸出與絕對壓力成比例,滿量程范圍低至20mTorr,可實現精確的低壓測量,E27F/E28F帶蝕刻傳感器的巴拉特龍加熱電容壓力計,E27H0.02-100托加熱(45°C)Baratron®帶蝕刻傳感器的電容壓力計,溫度控制在45°C,讀數精度高達0.12%,0至10VDC模擬輸出與絕對壓力成比例,蝕刻擋板傳感器大大降低了副產物到達傳感器的能力,E27F/E28F帶蝕刻傳感器的巴拉特龍加熱電容壓力計,E28H0.05-100托加熱(100°C)帶蝕刻傳感器的Baratron®電容壓力計
溫度控制在100°C,讀數精度高達0.25%,0至10VDC模擬輸出與絕對壓力成比例,蝕刻擋板傳感器大大降低了副產物到達傳感器的能力,帶蝕刻傳感器的Baratron加熱電容壓力計,E29H0.02-1000托加熱(45或100°C)帶蝕刻傳感器的Baratron®電容壓力計,溫度控制在45°C或100°C,讀數精度高達0.12%,0至10VDC模擬輸出與絕對壓力成比例,滿量程范圍低至20mTorr,可實現精確的低壓測量
四、高性能壓力傳感器型號分類:
(1)DA02B.1TBAS21CV0DA02B11TCES24C00DA02B12TGAS28C00
(2)DA02B12TGCS24C00DA02B13TCES21C00
(3)622D01TDE622D02TBE622D02TDE622D11TBE622D11TDE622D12TBE
(4)622D12TDE622D13TBE622D13TDEDA02BDA02B.1TBAS21CV0
(5)DA02B11TCES24C00DA02B12TGAS28C00DA02B12TGCS24C00